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精密機械零件加工機床氣動系統，首先要保證供給潔凈的壓縮空氣。壓縮空氣中通常都含有水分、油分和粉塵等雜質。水分會使管道、閥和氣缸腐蝕；油液會使橡膠、塑料和密封材料變質；粉塵造成閥體動作失靈。選用合適的過濾器可以清除壓縮空氣中的雜質，使用過濾器時應及時排除和清理積存的液體，否則，當積存液體接近擋水板時，氣流仍可將積存物卷起。
保證空氣中含有適量的潤滑油，大多數氣動執行元件和控制元件都有要求適度的潤滑。在精密CNC加工方法中，潤滑的方法一般采用油霧器進行噴霧潤滑，油霧器一般安裝在過濾器和減壓閥之后。油霧器的供油量一般不宜過多，通常每10m'的自由空氣供1mL的油量(即40到50滴油)檢查潤滑是否良好的一個方法是；找一張清潔的白紙放在換向閥的排氣口附近，如果閥在工作三到四個循環后，白紙上只有很輕的斑點時，表明潤滑是良好的。
保持氣動系統的密封性，漏氣不僅增加了能量的消耗，也會導致供氣壓力的下降，甚至造成高精密CNC加工氣動元件工作失常。嚴重的漏氣在氣動系統停止運行時，由漏氣引起的噪聲很容易發現；輕微的漏氣則利用儀表，或用涂抹肥皂水的辦法進行檢查。保證氣動元件中運動零件的靈敏性，從空氣壓縮機排出的壓縮空氣，包含有粒度為0.01~0.08 um的壓縮機油微粒，在排氣溫度為120C~220C的高溫下，這些油粒會迅速氧化，氧化后油粒顏色變深，黏性增大，并逐步由液態固化成油泥。這種μm級以下的顆粒,一般過濾器無法濾除。
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